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蔵書情報

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書誌情報サマリ

タイトル

超微細加工の基礎　　　　

著者 麻蒔 立男／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2001.9

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 清水中央清閉／書庫549.8/ｱ/112913865一般図書　利用可  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 超微細加工の基礎　　　　
サブタイトル 電子デバイスプロセス技術
著者名 麻蒔 立男／著
著者 ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2001.9
版表示 第2版
ページ数、枚数 295p
大きさ 21cm
価格 ￥３９００
言語区分 日本語
ISBN 4-526-04812-7
分類10版 549.8
分類9版 549.8
件名 半導体
内容紹介 半導体部品の製造に使われる加工技術には、非常に多くの微細加工技術が集成され成り立っている。より要求が高まり、加工上の課題も多い超微細加工技術の基礎から応用を平易に解説。93年刊の第2版。



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