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書誌情報サマリ

タイトル

ドライプロセス表面処理大全　　技術大全シリーズ　　

著者 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3

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1 清水中央清２／一般566.7/ﾄ/115281827一般図書　貸出中  ×

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル ドライプロセス表面処理大全　　技術大全シリーズ　　
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者 ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
シリーズ名 技術大全シリーズ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3
ページ数、枚数 285p
大きさ 21cm
価格 ￥３０００
言語区分 日本語
ISBN13桁 978-4-526-07968-9
ISBN 4-526-07968-9
分類10版 566.7
分類9版 566.7
件名 金属表面処理、薄膜
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。



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