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蔵書情報

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所蔵数 2 在庫数 2 予約数 0

書誌情報サマリ

タイトル

よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　　図解入門　　

著者 佐藤 淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10

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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 南部一般549.7/ｻ/142334596一般図書　利用可  ○
2 清水中央清２／一般549.7/ｻ/114399344一般図書　利用可  ○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　　図解入門　　
サブタイトル リソグラフィ技術の核心に迫る
著者名 佐藤 淳一／著
著者 ヨミ サトウ ジュンイチ
シリーズ名 図解入門
シリーズ名2 Visual Guide Book
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10
ページ数、枚数 271p
大きさ 21cm
価格 ￥２０００
言語区分 日本語
ISBN13桁 978-4-7980-3063-0
ISBN 4-7980-3063-0
分類10版 549.7
分類9版 549.7
件名 リソグラフィー、半導体
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。



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