お知らせ
有効期限の近い方や住所・電話番号に変更のあった方は、利用者情報の更新手続きを行ってください。

検索結果書誌詳細

図書
ログインすると表紙画像を
ご覧になれます
  • 書誌の詳細です。 現在、予約しているのは 0 件です。
  • 表示書誌を予約したい場合は「カートに入れる」又は「いますぐ予約する」ボタンを押下して下さい。

蔵書情報

この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。

所蔵数 3 在庫数 3 予約数 0

書誌情報サマリ

タイトル

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　　図解入門　　

著者 佐藤 淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12

この資料に対する操作

カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。

いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。

  

この資料に対する操作

電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。

マイ本棚へ追加ログインするとマイ本棚を利用できます。

資料情報

各蔵書資料に関する詳細情報です。

No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 南部一般549.8/ｻ/143284533一般図書　利用可  ○
2 長田一般549.8/ｻ/181923742一般図書　利用可  ○
3 興津一般549.8/ｻ/163292973一般図書　利用可  ○

関連資料

この資料に関連する資料を 同じ著者 出版年 分類 件名 受賞などの切り口でご紹介します。

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　　図解入門　　
サブタイトル ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
著者名 佐藤 淳一／著
著者 ヨミ サトウ ジュンイチ
シリーズ名 図解入門
シリーズ名2 Visual Guide Book
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
版表示 第3版
ページ数、枚数 261p
大きさ 21cm
価格 ￥２０００
言語区分 日本語
ISBN13桁 978-4-7980-6037-8
ISBN 4-7980-6037-8
分類10版 549.8
分類9版 549.8
件名 半導体
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。



目次


内容細目

もどる
このページの先頭へ トップページへ

本文はここまでです。

ページの終わりです。