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書誌情報サマリ

タイトル

はじめての半導体リソグラフィ技術　　現場の即戦力　　

著者 岡崎 信次／著
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 清水中央清２／一般549.7/ﾊ/114427887一般図書　利用可  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術　　現場の即戦力　　
著者名 岡崎 信次／著 、 鈴木 章義／著 、 上野 巧／著
著者 ヨミ オカザキ シンジ、スズキ アキヨシ、ウエノ タクミ
シリーズ名 現場の即戦力
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1
ページ数、枚数 10,301p
大きさ 21cm
価格 ￥２５８０
言語区分 日本語
ISBN13桁 978-4-7741-4939-4
ISBN 4-7741-4939-4
分類10版 549.7
分類9版 549.7
件名 リソグラフィー、半導体
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。



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