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書誌情報サマリ

タイトル

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　　図解入門　　

著者 佐藤 淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2010.5

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 清水中央清閉／書庫549.8/ｻ/114239835一般図書　利用可  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　　図解入門　　
サブタイトル 製造装置の全体を俯瞰する
著者名 佐藤 淳一／著
著者 ヨミ サトウ ジュンイチ
シリーズ名 図解入門
シリーズ名2 Visual Guide Book
出版者 秀和システム
出版年月 2010.5
ページ数、枚数 231p
大きさ 21cm
価格 ￥１８００
言語区分 日本語
ISBN13桁 978-4-7980-2610-7
ISBN 4-7980-2610-7
分類10版 549.8
分類9版 549.8
件名 半導体
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。



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