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書誌情報サマリ

タイトル

半導体製造装置用語辞典　　　　

著者 日本半導体製造装置協会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1994.11

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1 清水中央清閉／書庫R549/ﾊ/111480779一般図書持出禁止利用可  ×

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書誌詳細

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書誌種別 図書
タイトル 半導体製造装置用語辞典　　　　
著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者 ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1994.11
版表示 第3版
ページ数、枚数 486p
大きさ 22cm
価格 ￥４５６３
言語区分 日本語
ISBN 4-526-03613-7
分類10版 549.8
分類9版 549.8
件名 半導体-辞典
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語<ソフトカバー>



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