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書誌情報サマリ

タイトル

MEMSのはなし　　Science and technology　　

著者 前田 龍太郎／編著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 清水中央清２／一般530/ﾏ/113424906一般図書　利用可  ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル MEMSのはなし　　Science and technology　　
著者名 前田 龍太郎／編著 、 池原 毅／著 、 小林 健／著 、 単 学伝／著
著者 ヨミ マエダ リュウタロウ、イケハラ ツヨシ、コバヤシ タケシ、タン ガクデン
シリーズ名 Science and technology
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1
ページ数、枚数 6,126p
大きさ 19cm
価格 ￥１４００
言語区分 日本語
ISBN 4-526-05404-6
分類10版 530
分類9版 530
件名 マイクロマシン
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。



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